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今日消息 上海新阳：KrF光刻胶已批量化生产销售，ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中
发布时间：2023-01-29 16:02:52来源：
导读
上海新阳1月28日在互动平台表示，公司KrF光刻胶已批量化生产销售，ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中，EUV光刻胶尚在开发阶段。
上海新阳1月28日在互动平台表示，公司KrF光刻胶已批量化生产销售，ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中，EUV光刻胶尚在开发阶段。
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