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今日消息 晶瑞电材:KrF高端光刻胶部分品种已量产

发布时间:2023-03-14 09:02:34来源:

导读 晶瑞电材3月13日在投资者互动平台表示,公司子公司瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司的KrF光刻胶产品分辨率达到了0.25-0.13μm的技术要...

晶瑞电材3月13日在投资者互动平台表示,公司子公司瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司的KrF光刻胶产品分辨率达到了0.25-0.13μm的技术要求,已通过部分重要客户测试,KrF高端光刻胶部分品种已量产。

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