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今日消息 华海清科：12英寸超精密晶圆减薄机量产机台出货
发布时间：2023-05-21 17:01:32来源：
导读
华海清科5月21日公告，近日，公司新一代12英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300量产机台出机发往集成电路龙头企业。
12英寸超精密晶圆减...
华海清科5月21日公告，近日，公司新一代12英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300量产机台出机发往集成电路龙头企业。
12英寸超精密晶圆减薄机是业内首次实现12英寸晶圆超精密磨削和CMP全局平坦化的有机整合集成设备，Versatile-GP300量产机台可稳定实现12英寸晶圆片内磨削总厚度变化（简称“TTV”）＜1um和减薄工艺全过程的稳定可控。
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