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今日消息 南大光电：ArF光刻胶有少量供货，尚未规模量产
发布时间：2023-03-14 22:02:08来源：
导读
南大光电3月14日在互动平台表示，ArF光刻胶有少量供货，尚未规模量产。光刻胶扩产计划需根据产品订单情况确定。ArF光刻胶是先进集成电路芯...
南大光电3月14日在互动平台表示，ArF光刻胶有少量供货，尚未规模量产。光刻胶扩产计划需根据产品订单情况确定。ArF光刻胶是先进集成电路芯片制造的关键材料，在193nm光源下有较高的透明性和抗刻蚀性等，可以广泛应用于各种高端IC芯片的生产制造。
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