今日消息 中微公司：2022年归母净利同比增15.66%至11.7亿元，等离子体刻蚀设备在5纳米芯片生产线等批量销售

中微公司3月30日公告，2022年营收47.40亿元，同比增长52.50%；归母净利润11.70亿元，同比增长15.66%，基本每股收益1.9元，同比增长7.95%。

公司的等离子体刻蚀设备市场占有率不断提高，在国际最先进的5纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上均实现了多次批量销售,2022年刻蚀设备收入为31.47亿元，较2021年增长约57.07%，毛利率达到47.00%；公司的另一个主打产品MOCVD设备在新一代Mini-LED产业化中，在蓝绿光LED生产线上取得了绝对领先的地位，2022年MOCVD设备收入7.00亿元，较2021年增长约39.05%，毛利率达到37.01%。

公司产业化建设项目正在顺利推进中，在南昌的约14万平方米的生产和研发基地已基本建成完工，部分生产洁净室于2022年7月投入试生产；公司在上海临港的约18万平方米的生产和研发基地主体建设已完成，2023年将部分投入使用；上海临港滴水湖畔约10万平方米的研发中心暨总部大楼也在顺利建设。

针对第三代半导体设备市场，公司将根据高端显示应用对于外延设备的新需求，重点开发Micro-LED应用专用MOCVD设备，同时针对化合物半导体功率器件市场应用的快速发展，公司正在开发硅基氮化镓及碳化硅功率器件专用的外延设备，不断丰富公司设备的产品线，强化公司在第三代半导体设备市场的竞争优势。

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